Чтобы обеспечить безопасное обращение с газообразным хлористым водородом, предприятия по производству полупроводников должны иметь надлежащие системы вентиляции и защитное оборудование. Персонал, работающий с газообразным хлористым водородом, также должен пройти надлежащую подготовку по безопасному обращению с ним.